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氦質(zhì)譜檢漏儀,EBARA真空泵,普發(fā)檢漏儀,普發(fā)真空泵,inficon,壓力控制器

產(chǎn)品資料
產(chǎn)品[

質(zhì)譜分析儀

]資料
如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 質(zhì)譜分析儀
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商: MKS
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔


簡單介紹

Micro Vision2 產(chǎn)品的技術(shù)是基于MKS殘余氣體分析質(zhì)譜傳感頭和氣體監(jiān)控系統(tǒng)的核心技術(shù),利用*先進的射頻電路模塊和數(shù)據(jù)采集電路模塊,具有**的性能,為要求*嚴格的應用所需,雙CPU提供了高穩(wěn)定的運行,快速和寬范圍的動態(tài)掃描,使得工藝偏差和氣體成分改變的監(jiān)測變得很容易及**的通訊功能。靈活的輸入輸出性能,易與機臺和其他傳感器連接。質(zhì)量數(shù)范圍:1-300可選,雙檢測配置。 eVision 2 基于以太網(wǎng)的低成本的殘余氣體分析儀。利用Web瀏覽器或通過EasyView軟件方便地操作系統(tǒng)。質(zhì)量數(shù)范圍:1-200可選,雙檢測器配置可選。

質(zhì)譜分析儀的詳細介紹
  • 工藝監(jiān)控
  • TOOLweb 工藝和工藝腔環(huán)境監(jiān)測
  • Vision 2000-B 真空本底殘余氣體分析儀
  • Vision 2000-C 化學氣相沉積(CVD)工藝殘余氣體分析儀
  • Vision 2000-E 刻蝕(Etch)工藝殘余氣體分析儀
  • Vision 2000-P 物**相沉積(PVD)工藝殘余氣體分析儀
  • 200-300mm Resist-Torr 光刻膠檢測器
  • HPQ3 高壓殘余氣體分析儀, 主要用于PVD工藝氣體檢測



  • 大氣壓氣體分析儀
  • Cirrus 2 四極質(zhì)譜儀  工作在大氣壓力下的桌上型四極質(zhì)譜儀,可用于在線測量和分析氣體以及其體組成。


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