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氦質譜檢漏儀，EBARA真空泵，普發(fā)檢漏儀，普發(fā)真空泵，inficon，壓力控制器
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MKS電源
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產品簡單介紹
MKS電源-直流/脈沖功率電源
ENI直流/脈沖電源主要應用于半導體，光電器件，磁盤，平板顯示器等工業(yè)中的鍍膜工藝。
MKS電源-射頻功率電源
ENI提供高可靠性的固態(tài)電源，其頻率從2MHz到60MHz，功率從3百瓦到13千瓦，還可選自動頻率跳鞋，廣泛應用于Etch，CVD和PVD等工藝。
MKS電源-等離子體電源
ASTeX 遠程等離子體電源適用于氧氣，氮氣，氫氣，水汽等氣體，廣泛應用于CVD，ETCH，去膠等晶圓工藝。
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