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產(chǎn)品資料
產(chǎn)品[

MKS電源-等離子體電源

]資料
如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: MKS電源-等離子體電源
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品展商: MKS
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔


簡單介紹

ASTeX 遠(yuǎn)程等離子體電源適用于氧氣,氮?dú)猓瑲錃?,水汽等氣體,廣泛應(yīng)用于CVD,ETCH,去膠等晶圓工藝。

MKS電源-等離子體電源的詳細(xì)介紹

產(chǎn)品有以下型號(hào):

R*evolution -AX7690 集成遠(yuǎn)程等離子體源用于精元工藝。


微波等離子體源:


  • AX2600 集成等離子體系統(tǒng)
  • Smart Power-AX2500系列微波電源
  • ASTeX-AX3060 SmartMatch微波匹配器
  • ASTeX-AX7619 下游等離子體源


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