產(chǎn)品[
反應氣體發(fā)生器
]資料
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產(chǎn)品名稱: 反應氣體發(fā)生器
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商:
MKS
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
ASTRON系列遠程等離子體電源
反應氣體發(fā)生器的詳細介紹
基于NF3等含氟氣體電力，產(chǎn)生活性氣體，廣泛應用于CVD等工藝腔清洗，它具有功能大，效率高等特點。
產(chǎn)品有：
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ASTRON i-AX7670(3升)
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ASTRON ex-AX7685(6升)
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ASTRON hf-s-AX7645(15升,分體式）
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ASTRON hf-AX7640（15升）
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ASTRON hf+AX7635（22升）
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ASTRON hf++AX7667（30升）